[20-2]EUVL mask 보호를 위한 CNT Pellicle 제작과 RESCAN 장비의 필요성

  • 작성일2021.01.15
  • 수정일2021.01.15
  • 작성자 유*영
  • 조회수1014
신소재공학과 20학년도 2학기 캡스톤디자인 설계경진대회
작품명: EUVL mask 보호를 위한 CNT Pellicle 제작과 RESCAN 장비의 필요성
설계조: CNT 펠리클조
조원: 손민우, 이승원, 이주현, 이진석, 정민교
지도교수: 김동훈
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