강의계획서
| 교과목코드 | JEF02342 | 교과목명 | 신소재실험3 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 김혜진 |
| 교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | 3학년 |
| 과목구분 | 실험 | 과정구분 | |
| 이메일 | haejinkim@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 오리엔테이션 (수업소개, 반도체 일반적 원리) |
| 2주차 | 안전교육 |
| 3주차 | 반도체 공정 개론 |
| 4주차 | 반도체 공정 개론 (이론) |
| 5주차 | 박막증착 및 분석 (이론) |
| 6주차 | 증착 장비소개 |
| 7주차 | Quiz |
| 8주차 | 중간고사 기간 |
| 9주차 | 기판준비, 조별실습 (ALD 증착) |
| 10주차 | 조별실습 (ALD 증착) |
| 11주차 | 조별실습 (이온코터 증착) |
| 12주차 | 조별실습 (이온코터 증착) |
| 13주차 | 조별실습 (I-V 측정) |
| 14주차 | 조별실습 (분석) |
| 15주차 | 결과발표, 보고서 제출 |
| 16주차 |